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本發明涉及一種用于前向衍射光光強分布測量的對中裝置及方法，其特征在于所述對中裝置包括光電探測器陣列、精密三維位移平臺、x向調整電路和y向調整電路。光電探測器陣列上有用于對中的兩個四分之一圓環硅光電探測器和兩個二分之一圓環硅光電探測器對稱位于...
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