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本實(shí)用新型公開了一種低密度靶材包裝裝置。其包括大真空包裝袋(1)若干個(gè)小真空包裝袋(2)和塑型定位器具(3),所述小真空包裝袋(2)用于真空包裝單個(gè)低密度陶瓷靶材,所述各個(gè)小真空包裝袋(2)均排列置于所述大真空包裝袋(1)內(nèi),大真空包裝袋(...該專利屬于韶關(guān)西格瑪技術(shù)有限公司所有,僅供學(xué)習(xí)研究參考,未經(jīng)過韶關(guān)西格瑪技術(shù)有限公司授權(quán)不得商用。