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本發(fā)明的系統(tǒng)和方法涉及通過經(jīng)由反應物流調(diào)節(jié)系統(tǒng)和部件為原料流提供適宜的反應條件的氫氯化反應。該調(diào)節(jié)系統(tǒng)有助于四氯化硅在氣態(tài)的氫氣中汽化以產(chǎn)生含有用四氯化硅飽和的氫氣的反應物流。通過使用低于約15bar的飽和蒸汽而無需使用過熱蒸汽或熱油就可以...該專利屬于GTAT有限公司所有，僅供學習研究參考，未經(jīng)過GTAT有限公司授權不得商用。