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一種預(yù)對(duì)準(zhǔn)機(jī)的標(biāo)定方法，一機(jī)械手將一晶圓放置在一預(yù)對(duì)準(zhǔn)機(jī)上；所述機(jī)械手和預(yù)對(duì)準(zhǔn)機(jī)坐標(biāo)系相對(duì)方向的確定，包括步驟：機(jī)械手將晶圓放置在預(yù)對(duì)準(zhǔn)機(jī)上，晶圓的圓心處于預(yù)對(duì)準(zhǔn)機(jī)所在的一第一坐標(biāo)系中的一第一位置點(diǎn)；預(yù)對(duì)準(zhǔn)機(jī)識(shí)別第一位置點(diǎn)在第一坐標(biāo)系中的坐...該專利屬于沈陽新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過沈陽新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司授權(quán)不得商用。