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    下載用于電化學機械拋光的拋光墊的技術資料

    文檔序號:890705

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    本發明提供一種拋光墊,其包含一具有一頂部表面(10)和一底部表面的主體,所述頂部表面(10)包含一具有一第一深度和第一寬度的第一組凹槽(12),所述底部表面包含一具有一第二深度和第二寬度的第二組凹槽(16),其中所述第一組凹槽(12)與第二...
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