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本發(fā)明提供一種用于化學(xué)機(jī)械拋光的拋光墊，所述拋光墊包含（ａ）一第一拋光層（１０），其包含一拋光表面（１２）和一具有一第一長(zhǎng)度和一第一寬度的第一孔隙；（ｂ）一第二層（２０），其包含一本體和一具有一第二長(zhǎng)度和一第二寬度的第二孔隙，其中所述第二層...該專利屬于卡博特微電子公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過卡博特微電子公司授權(quán)不得商用。