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本發明涉及一種適用于高溫氧化物晶體生長的輔助監測系統,包括:夾持籽晶的籽晶夾持單元;設計為與所述籽晶夾持單元和所述籽晶絕緣的生長爐,所述生長爐容納有用于生長晶體的熔體;以及一端連接到所述籽晶夾持單元,并且另一端連接到所述生長爐的電容監測單元...該專利屬于中國科學院上海硅酸鹽研究所所有,僅供學習研究參考,未經過中國科學院上海硅酸鹽研究所授權不得商用。
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本發明涉及一種適用于高溫氧化物晶體生長的輔助監測系統,包括:夾持籽晶的籽晶夾持單元;設計為與所述籽晶夾持單元和所述籽晶絕緣的生長爐,所述生長爐容納有用于生長晶體的熔體;以及一端連接到所述籽晶夾持單元,并且另一端連接到所述生長爐的電容監測單元...