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一種晶棒表面之調質方法，包含以下步驟：步驟一：提供一晶棒，并以一蓋體罩蓋該晶棒；步驟二：利用一加熱單元將該晶棒加熱至一預定溫度并持溫一段時間；及步驟三進行一冷卻步驟，以將該晶棒冷卻；其中，該蓋體至少具有一部分的透明區域，使該加熱單元的熱輻射...
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