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一種常壓等離子體自由基清洗設備，包括一臺中頻等離子體發生器、一臺射頻等離子體發生器、吸片裝置、電源系統、移動機械臂、進氣系統以及抽氣泵。設備運行時，兩臺等離子體發生器同時工作，工作氣體在流量計的控制下進入到兩臺等離子體發生器中，吸片裝置固定...
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