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本發(fā)明的一個(gè)方式提供一種柔性襯底處理裝置,該柔性襯底處理裝置能夠?qū)π纬稍谌嵝砸r底上的膜狀結(jié)構(gòu)體所包含的氧化物穩(wěn)定地進(jìn)行還原處理。上述裝置結(jié)構(gòu)包括:發(fā)送形成有膜狀結(jié)構(gòu)體的柔性襯底的襯底搬出部;將形成在柔性襯底上的膜狀結(jié)構(gòu)體所包含的氧化物電化學(xué)...該專(zhuān)利屬于株式會(huì)社半導(dǎo)體能源研究所所有,僅供學(xué)習(xí)研究參考,未經(jīng)過(guò)株式會(huì)社半導(dǎo)體能源研究所授權(quán)不得商用。