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本實用新型涉及一種MEMS掃描探頭，包括基座（1）、光纖（2）、透鏡（3）、柔性雙金屬結構（8）、微鏡底座（7）、以及設置在微鏡底座（7）下表面的MEMS微鏡（4），各個部件按照本實用新型的設計要求相互進行連接，其中，微鏡底座（7）下表面上...
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