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本發(fā)明公開了一種基于硅通孔技術(shù)的微型電容式壁面剪應(yīng)力傳感器及其制作方法，屬于傳感器技術(shù)領(lǐng)域。該傳感器包括浮動單元錨點(diǎn)1、彈性梁2、可動梳齒3、固定梳齒4、固定梳齒錨點(diǎn)5、TSV引線6、浮動單元7、犧牲層8、基底層9和TSV電絕緣層10，傳感...該專利屬于西北工業(yè)大學(xué)所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過西北工業(yè)大學(xué)授權(quán)不得商用。