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    下載多晶硅副產物中二氯二氫硅的液相氯化方法的技術資料

    文檔序號:8732352

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    本發明公開了一種多晶硅副產物中二氯二氫硅的液相氯化方法,特點是:二氯二氫硅與氯在四氯化硅溶液中發生液相氯化反應,反應溫度為-50~50℃,反應壓力為0.5MPa以上,反應后生成四氯化硅和氯化氫;優點是:本發明方法安全可控,二氯二氫硅的轉化率...
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