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    下載用于轉(zhuǎn)移單晶硅薄膜的方法的技術(shù)資料

    文檔序號:8688076

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    本發(fā)明涉及一種源自單晶硅制成的供體襯底(1)的單晶硅薄層(3)的轉(zhuǎn)移方法,此種轉(zhuǎn)移方法包括:注入條件為使得薄層(3)的厚度小于10微米;以及用于將此薄層粘合到接收襯底的聚合物層(5)的厚度位于一個臨界閾值之下,此臨界閾值定義為注入的能量及劑...
    該專利屬于法國原子能源和替代能源委員會;法國國家科學(xué)研究中心所有,僅供學(xué)習(xí)研究參考,未經(jīng)過法國原子能源和替代能源委員會;法國國家科學(xué)研究中心授權(quán)不得商用。

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