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下載投影曝光裝置的技術資料

文檔序號：8688051

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本發明提供一種投影曝光裝置，其具有遮光單元，該遮光單元使伴隨基板的運入運出的遮光部件的安裝和卸下的所需時間變短。投影曝光裝置具有：投影光學系統，其將包含紫外線的光線照射在光掩模上，將通過了光掩模的光線投影在涂布了光致抗蝕劑的基板上；基板臺，...
該專利屬于株式會社ORC制作所所有，僅供學習研究參考，未經過株式會社ORC制作所授權不得商用。

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