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本發(fā)明公開了一種光刻用準(zhǔn)分子激光器劑量穩(wěn)定控制方法，將準(zhǔn)分子激光器所發(fā)出的每一脈沖串分為K區(qū)和L區(qū)，并分別對(duì)K區(qū)和L區(qū)的脈沖使用不同的算法對(duì)放電電壓進(jìn)行調(diào)節(jié)，所述的不同的算法為對(duì)K區(qū)使用KPI算法對(duì)電壓進(jìn)行調(diào)節(jié)，在L區(qū)使用PI控制算法對(duì)電壓...該專利屬于中國科學(xué)院安徽光學(xué)精密機(jī)械研究所所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過中國科學(xué)院安徽光學(xué)精密機(jī)械研究所授權(quán)不得商用。