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本發明公布了一種采用磷埋層及濃磷埋層技術的雙極橫向PNP管制作工藝，包括如下步驟，投料、氧化、磷埋層光刻、注入、磷埋層退火、硼埋層光刻、注入、濃磷埋層光刻、注入、濃磷埋層退火、N型外延、深磷擴散、隔離擴散、基區注入、濃硼注入、基區退火、N+...
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