溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。
本發明公開了離子注入系統中的一種離子源均勻送氣結構裝置，如圖1所示：通過在送氣蓋板底部設計送氣管路(501)至送氣管路(507)，以使送入的氣體均勻的流入弧室腔體內，而弧室的兩塊端板上安裝有燈絲；當通過一定的燈絲電流，燈絲受熱發射電子，此時...該專利屬于北京中科信電子裝備有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過北京中科信電子裝備有限公司授權不得商用。
溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。
本發明公開了離子注入系統中的一種離子源均勻送氣結構裝置，如圖1所示：通過在送氣蓋板底部設計送氣管路(501)至送氣管路(507)，以使送入的氣體均勻的流入弧室腔體內，而弧室的兩塊端板上安裝有燈絲；當通過一定的燈絲電流，燈絲受熱發射電子，此時...