溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。

本發明提供一種離子源電極的清潔裝置，可以沿構成離子源的引出電極系統的電極的寬廣區域高速去除沉積物。該清潔裝置包括：清潔氣體源（42）等構件，向引出電極系統（10）的相互面對的兩個電極（11、12）之間提供清潔氣體（48），使兩個電極之間的氣...
該專利屬于日新離子機器株式會社所有，僅供學習研究參考，未經過日新離子機器株式會社授權不得商用。

詳細技術文檔下載地址

溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。