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本發明公開了一種擴散爐智能溫控系統，它包括若干可控硅、觸發電路、溫控儀、PLC控制器、熱電偶、舟控制裝置、質量流量計、冷端組件、氣體混合控制器和觸摸屏。本發明采用具有結構緊湊、控溫精度高和性能穩定特點的溫控儀，通過分別設置在擴散爐爐體內各個...
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