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本發明提供一種用于光刻機的嵌入式控制設備及控制方法，該設備由嵌入式母板和單片機子板構成，兩板之間通過串口進行通信，母版包括核心板和功能板，其中核心板包括存儲器，微處理器，功能板包括觸摸屏模塊，USB設備模塊，網絡連接模塊，SD卡讀取存儲模塊...
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