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本發明提供了光學設備、位置檢測設備、顯微鏡設備以及曝光設備。該光學設備包括：孔徑光闌，包括第一孔和第二孔并且被固定在照明光學系統的光瞳面上，第一孔被配置為將用于照射照明表面的照明條件限定為第一條件，第二孔被配置為將照明條件限定為第二條件；遮...
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