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本發明涉及一種垂直大位移MEMS微鏡及加工工藝，其中裝置包括微鏡邊框（1）、鏡體（2）和驅動臂（3），鏡體（2）邊緣通過驅動臂（3）與微鏡邊框（1）相連接；所述驅動臂（3）包括兩根直梁（4）和與之相對應的三個雙層膜Bimorph結構連接件（...
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