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一種提高極紫外光譜純度及熱穩定性的新型多層膜，屬于極紫外光刻領域，該新型多層膜為在基底上依次鍍制Si層和Mo層交替的周期性多層膜，還包括熱穩定層，所述熱穩定層制作在Si層和Mo層交替的周期性多層膜上；本發明通過在Si層和Mo層交替的周期性多...該專利屬于中國科學院長春光學精密機械與物理研究所所有，僅供學習研究參考，未經過中國科學院長春光學精密機械與物理研究所授權不得商用。
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一種提高極紫外光譜純度及熱穩定性的新型多層膜，屬于極紫外光刻領域，該新型多層膜為在基底上依次鍍制Si層和Mo層交替的周期性多層膜，還包括熱穩定層，所述熱穩定層制作在Si層和Mo層交替的周期性多層膜上；本發明通過在Si層和Mo層交替的周期性多...