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本發(fā)明公開(kāi)了一種光學(xué)表面及亞表面吸收缺陷的高分辨率檢測(cè)方法及裝置，通過(guò)高度聚焦的泵浦激光照射樣品來(lái)激發(fā)樣品的紅外輻射，同時(shí)利用泵浦激光所激發(fā)的紅外輻射在特定波段對(duì)一些固體材料有一定穿透深度的物理特性來(lái)獲得固體材料表面及亞表面對(duì)泵浦激光的光學(xué)...該專利屬于合肥知常光電科技有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過(guò)合肥知常光電科技有限公司授權(quán)不得商用。