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本發(fā)明提供一種活化氣體注入裝置、成膜裝置和成膜方法。該活化氣體注入裝置被劃分成氣體活化室、氣體導(dǎo)入室，包括：將這些空間互相連通的流路形成構(gòu)件；用于將處理氣體導(dǎo)入到氣體導(dǎo)入室的氣體導(dǎo)入件；在氣體活化室內(nèi)互相并列延伸地設(shè)置、施加用于使處理氣體活...該專利屬于東京毅力科創(chuàng)株式會社所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過東京毅力科創(chuàng)株式會社授權(quán)不得商用。