溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。

本發明涉及一種硼摻雜二氧化鈦薄膜的制備方法，包括以下步驟：1）在雙層輝光離子滲金屬爐中，將固態化合物二硼化鈦固定在源極上，金屬工件放置在陰極上，陽極接在爐殼上并接地；2）將所述雙層輝光離子滲金屬爐內部抽真空，充入氬氣，然后接通陰極電源，在陽...
該專利屬于太原理工大學所有，僅供學習研究參考，未經過太原理工大學授權不得商用。

詳細技術文檔下載地址

溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。