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    下載光酸產(chǎn)生劑及包含該光酸產(chǎn)生劑的光刻膠的技術(shù)資料

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    具有式(I)所示結(jié)構(gòu)的光酸產(chǎn)生劑化合物:[A-(CHR1)p]k-(L)-(CH2)m-(C(R2)2)n-SO3-Z+?(I),其中A是任選地包含O、S、N、F或包含上述至少一種的組合的取代或未取代的單環(huán)、多環(huán)或稠合多環(huán)的C5或者更大的脂...
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