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本發明提供一種蝕刻液以及使用其的晶體管的制造方法，所述蝕刻液用于晶體管的制造方法中的由硅形成的虛擬柵的蝕刻，選擇性地蝕刻該由硅形成的虛擬柵，所述晶體管的制造方法為：利用去除由硅形成的虛擬柵并將其替換為鋁金屬柵的方法，來制造具有至少由高介電材...
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