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一種用于使用FIB系統(tǒng)對襯底進行成像和銑削的改進方法和設(shè)備。本發(fā)明的優(yōu)選實施例使用由相同射束光學(xué)器件聚焦于相同焦點的輕和重離子的混合物，來在輕離子穿透至樣本中更深處以允許生成表面下特征的圖像時同時銑削樣本表面（主要利用重離子）。在其他使用當(dāng)...該專利屬于FEI公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過FEI公司授權(quán)不得商用。