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    下載用于化學機械拋光包含氧化硅電介質和多晶硅膜的襯底的含水拋光組合物和方法的技術資料

    文檔序號:8659025

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    發現了一種含水拋光組合物,所述含水拋光組合物包含:(A)至少一種磨料顆粒,當其分散于不含組分(B)且pH值為3-9的含水介質中時帶正電荷,如電泳遷移率所證實的那樣;(B)至少一種選自線性和支化氧化烯均聚物和共聚物的水溶性聚合物;和(C)至少...
    該專利屬于巴斯夫歐洲公司所有,僅供學習研究參考,未經過巴斯夫歐洲公司授權不得商用。

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