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    下載一種晶體硅背面點接觸的制備方法的技術資料

    文檔序號:8656780

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    本發明公開了一種晶體硅背面點接觸的制備方法,包括如下步驟:1)對單晶硅片表面去除損傷層并形成織構化絨面結構;2)將制絨好的硅片插入石英舟中擴散形成PN結,在硅片的正面形成方塊電阻;3)去除硅片四周和背面的PN結,同時采用HF去粗擴散形成磷硅...
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