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一種梁膜四梁結構硅微流量傳感器芯片，包括外圍支撐硅基，中央硅膜位于外圍支撐硅基的中間，中央硅膜的四邊和外圍支撐硅基之間通過四個硅懸臂梁相連，每個硅懸臂梁上的中間配置有一個壓阻條，構成惠斯通電橋，當一定速度流體作用于傳感器芯片時，將有慣性力作...
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