溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。

一種梁膜單梁結構硅微流量傳感器芯片，包括外圍支撐硅基，在外圍支撐硅基的背面配置有玻璃襯底，外圍支撐硅基的背面與玻璃襯底進行鍵合連接，中央硅膜位于外圍支撐硅基的中間，中央硅膜的一邊和外圍支撐硅基之間通過一硅懸臂梁相連，硅懸臂梁上的中間配置有四...
該專利屬于西安交通大學所有，僅供學習研究參考，未經過西安交通大學授權不得商用。

詳細技術文檔下載地址

溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。