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徑向偏光照明橢球曲面光瞳振幅濾波共焦成像裝置屬于光學顯微鏡測量領域；該共焦成像裝置激光器發出的激光束依次經過準直擴束器，起偏器，徑向偏振光轉換器，分光鏡后，由大數值孔徑物鏡會聚到橢球反射鏡表面，再經過橢球反射鏡和樣品的兩次反射后沿對稱路徑返...該專利屬于哈爾濱工業大學;中國兵器工業第二〇五研究所所有，僅供學習研究參考，未經過哈爾濱工業大學;中國兵器工業第二〇五研究所授權不得商用。