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    下載一種改進的基于支持向量機的納米結構特征尺寸提取方法的技術資料

    文檔序號:8654736

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    本發明公開了一種改進的基于支持向量機的半導體納米結構特征尺寸提取方法,步驟為:確定每一個待提取參數的取值范圍,生成子光譜數據庫;利用訓練光譜和支持向量機訓練網絡進行支持向量機訓練;對每一個待提取參數利用訓練光譜重復訓練多個支持向量機,每一個...
    該專利屬于華中科技大學所有,僅供學習研究參考,未經過華中科技大學授權不得商用。

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