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    下載一種擴散泵加熱系統的技術資料

    文檔序號:8654151

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    本發明公開了一種擴散泵加熱系統,包括擴散泵、主機控制裝置、點火控制裝置和帶點火感應針的燃燒裝置,主機控制裝置通過點火控制裝置與點火感應針相連,所述擴散泵設于燃燒裝置上方,所述燃燒裝置上設有進氣管。采用燃氣加熱系統替換電加熱系統,在開機時,加...
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