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本發明涉及一種用于氯氣刻蝕烘烤設備的反應罩，該反應罩由耐溫、隔熱并具有高透光性的材料整體制成，并在其頂面設有用于容納溫度測量裝置的第一管和供氣體進入的第二管。第二管通入到設置在反應罩內的多層孔板結構，第一管穿透多層孔板結構而通到反應罩內部。...
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