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本發(fā)明公開了一種CIGS薄膜電池的激光沉積制備工藝，依次在Mo玻璃襯底上沉積鈉化合物薄膜、CIGS薄膜、緩沖層薄膜和窗口層薄膜得到CIGS器件；本發(fā)明針對CIGS薄膜電池多層膜的特點，采用簡潔的多靶連續(xù)旋轉(zhuǎn)激光沉積，在同一真空腔內(nèi)，共享一套...該專利屬于合肥工業(yè)大學(xué)所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過合肥工業(yè)大學(xué)授權(quán)不得商用。