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    下載一種去除硅材料表面雜質的方法的技術資料

    文檔序號:8651768

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    本發明公開了一種去除硅材料表面雜質的方法,屬于新能源材料制備技術領域。本方法利用強流脈沖電子束輻照處理硅材料,通過瞬時高能量注入引發表面蒸發和表層噴發過程,發揮表面蒸發去除雜質和熔體噴發去除深層雜質的雙重效果,獲得具有一定厚度且符合太陽能電...
    該專利屬于大連理工大學所有,僅供學習研究參考,未經過大連理工大學授權不得商用。

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