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本發明提供一種顆粒均勻、工藝簡單且生產周期短的納米氮化硅粉的生產方法，用等離子體轉移弧作為加熱源對坩堝內的硅原料進行直接加熱，直接生成納米硅粉，與氮化反應氣體反應生成氮化硅粉，納米硅粉在整個反應過程中，呈高度分散狀態，與氮化反應氣體能夠充分...該專利屬于寧波廣博納米新材料股份有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過寧波廣博納米新材料股份有限公司授權不得商用。
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