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    下載雙極晶體管制造方法、雙極晶體管和集成電路的技術資料

    文檔序號:8594904

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    公開了一種制造雙極晶體管的方法,包括:提供襯底(10),所述襯底包括通過有源區(11)與第二隔離區分離的第一隔離區(12),所述有源區包括集電極雜質;在所述襯底上方形成疊層,所述疊層包括基極層(14,14’)、所述基極層上方的硅覆蓋層(15...
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