溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。
本發(fā)明公開了一種基于高精度PID控制溫度的原子層沉積設備，包括沉積腔室、等離子氣體產(chǎn)生系統(tǒng)、射頻電源匹配器及射頻電源、溫度采集電路、PID控制電路、加熱及散熱裝置；所述溫度采集電路采集所述沉積腔室的溫度；所述PID控制電路接收所述溫度采集電...該專利屬于中國科學院微電子研究所所有，僅供學習研究參考，未經(jīng)過中國科學院微電子研究所授權不得商用。