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本發明提供一種噴淋板及其制造方法、和使用了它的等離子體處理裝置、處理方法及電子裝置的制造方法。該噴淋板能夠更完全地防止等離子體發生逆流、或在縱孔部分的等離子體激勵用氣體發生著火，從而可以高效地激勵等離子體。噴淋板（105）配置在等離子體處理...該專利屬于東京毅力科創株式會社;國立大學法人東北大學所有，僅供學習研究參考，未經過東京毅力科創株式會社;國立大學法人東北大學授權不得商用。