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一種涉及擴散爐領域的防泄露液態源擴散爐，所述的擴散爐包含擴散爐本體，擴散爐本體中的運載N2氣路、O2氣路以及吹掃N2氣路均安裝有對應的流量計和隔膜閥；運載N2氣路中位于N2隔膜閥與源瓶進氣閥之間設有源瓶壓力傳感器；擴散爐本體內的反應爐設置有...該專利屬于上海超日（洛陽）太陽能有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過上海超日（洛陽）太陽能有限公司授權不得商用。
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一種涉及擴散爐領域的防泄露液態源擴散爐，所述的擴散爐包含擴散爐本體，擴散爐本體中的運載N2氣路、O2氣路以及吹掃N2氣路均安裝有對應的流量計和隔膜閥；運載N2氣路中位于N2隔膜閥與源瓶進氣閥之間設有源瓶壓力傳感器；擴散爐本體內的反應爐設置有...