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    下載基板托架及基板檢測(cè)裝置的技術(shù)資料

    文檔序號(hào):8578200

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    本實(shí)用新型實(shí)施例公開(kāi)了一種基板托架及基板檢測(cè)裝置,涉及機(jī)械領(lǐng)域,可保證基板被每一個(gè)基板托架所支撐,可減小基板由于對(duì)位校正裝置的調(diào)整而損壞的可能性,間接地增大對(duì)位校正裝置的修正能力。該基板托架包括:托架本體,托架本體包括固定部、連接部和延伸部...
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