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本實用新型公開了一種用于去除熱解氮化硼細頸蒸發坩堝中石墨模具的鋼刷,包括鋼刷軸,鋼刷軸上套設有以鋼刷軸為中心軸旋轉的鋼刷套,所述鋼刷套的外壁具有刷齒,所述鋼刷軸的端部具有至少兩個固定凸起或固定凹槽。所述固定凸起或固定凹槽為三個,呈品字形分布...該專利屬于北京博宇半導體工藝器皿技術有限公司所有,僅供學習研究參考,未經過北京博宇半導體工藝器皿技術有限公司授權不得商用。
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本實用新型公開了一種用于去除熱解氮化硼細頸蒸發坩堝中石墨模具的鋼刷,包括鋼刷軸,鋼刷軸上套設有以鋼刷軸為中心軸旋轉的鋼刷套,所述鋼刷套的外壁具有刷齒,所述鋼刷軸的端部具有至少兩個固定凸起或固定凹槽。所述固定凸起或固定凹槽為三個,呈品字形分布...