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本發明提供一種在襯底（２２）上蒸發目標結構（２４）的系統（１０，３３）和方法。根據本發明，計算在目標結構（２４）中沉積單位能量所需要的入射光束能量作為波長的函數，然后，對于入射光束能量，計算預計沉積在襯底（２２）中的能量作為波長的函數。找出...
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