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本發明公開了一種能夠提高雪崩耐量能力的超結器件結構,包括超結器件的元胞區域、終端,終端設置于元胞區域的外圍;在超結器件的元胞區域中,元胞溝槽的頂層覆蓋有元胞體注入區,多塊元胞N型離子注入區覆蓋于元胞體注入區內的部分區域;元胞N型離子注入區的...該專利屬于上海華虹NEC電子有限公司所有,僅供學習研究參考,未經過上海華虹NEC電子有限公司授權不得商用。
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本發明公開了一種能夠提高雪崩耐量能力的超結器件結構,包括超結器件的元胞區域、終端,終端設置于元胞區域的外圍;在超結器件的元胞區域中,元胞溝槽的頂層覆蓋有元胞體注入區,多塊元胞N型離子注入區覆蓋于元胞體注入區內的部分區域;元胞N型離子注入區的...