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本發(fā)明涉及一種MEMS掃描探頭，包括基座（1）、光纖（2）、透鏡（3）、柔性雙金屬結(jié)構(gòu)（8）、微鏡底座（7）、以及設(shè)置在微鏡底座（7）下表面的MEMS微鏡（4），各個(gè)部件按照本發(fā)明的設(shè)計(jì)要求相互進(jìn)行連接，其中，微鏡底座（7）下表面上與基座（...該專利屬于無錫微奧科技有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過無錫微奧科技有限公司授權(quán)不得商用。